发明名称 凹槽底部抛光装置及方法
摘要 本发明提供了一种凹槽底部抛光装置及方法,所述凹槽底部抛光装置包括:清洁头部;和装在所述清洁头部上的抛光片,所述抛光片的宽度小于所述凹槽宽度。使用时,所述清洁头部置于所述凹槽内,且所述抛光片与所述凹槽的底部相接触,基于所述抛光片的宽度小于所述凹槽宽度,从而避免采用抛光片对凹槽底部进行抛光时,抛光片容易和凹槽侧壁发生磨擦而致使凹槽侧壁局部受损且被拓宽的问题,进而减少造成凹槽不同部位宽度差异的缺陷,并降低在密封条嵌入凹槽后凹槽局部宽度差异而导致的密封条各部位表面平整度的差异,进而减小了密封条以及出现局部脱落的概率。
申请公布号 CN105437095A 申请公布日期 2016.03.30
申请号 CN201410370595.X 申请日期 2014.07.30
申请人 宁波江丰电子材料股份有限公司 发明人 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;钟伟攀
分类号 B24D15/02(2006.01)I 主分类号 B24D15/02(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 高静;骆苏华
主权项 一种凹槽底部抛光装置,用于对凹槽底部进行抛光处理,其特征在于,包括:清洁头部,用于在抛光处理过程中置于所述凹槽内;装在所述清洁头部上的抛光片,所述抛光片的宽度小于或等于所述凹槽的宽度,用于对凹槽底部进行抛光。
地址 315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号