发明名称 |
一种硅片切割废砂浆的回收方法 |
摘要 |
本发明提供了一种硅片切割废砂浆的回收方法,包括以下步骤:a.硅片切割废砂浆固液分离,得到固体砂料和液体份;b.步骤a中得到的液体份中加入脱色剂、离子吸附剂和助滤剂,固液分离,得到聚乙二醇切割回收液;c.步骤a中得到的固体砂料通过磁选分离去除金属,得到硅与碳化硅的混合物;d.将步骤c中得到的硅与碳化硅的混合物在1425-1550℃下真空加热;冷却至室温后筛网过滤,收集筛下的物质得到碳化硅微粉,收集筛上的物质得到硅块;粉碎硅块得到硅粉。本发明提供的回收方法非常环保,且对硅和碳化硅的分离较彻底,回收到的聚乙二醇、碳化硅和硅粉的纯度较高。 |
申请公布号 |
CN102295285B |
申请公布日期 |
2016.03.30 |
申请号 |
CN201010214534.6 |
申请日期 |
2010.06.26 |
申请人 |
比亚迪股份有限公司 |
发明人 |
陈帆;王忠利;林宏业 |
分类号 |
C01B31/36(2006.01)I;C01B33/021(2006.01)I;C08G65/34(2006.01)I |
主分类号 |
C01B31/36(2006.01)I |
代理机构 |
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 |
代理人 |
李志东 |
主权项 |
一种硅片切割废砂浆的回收方法,包括以下步骤:a.硅片切割废砂浆固液分离,得到固体砂料和液体份;b.步骤a中得到的液体份中加入脱色剂、离子吸附剂和助滤剂,固液分离,得到聚乙二醇切割回收液;c.步骤a中得到的固体砂料通过磁选分离去除金属,得到硅与碳化硅的混合物;d.将步骤c中得到的硅与碳化硅的混合物在1425‑1550℃下真空加热;冷却至室温后筛网振动过滤,收集筛下的物质得到碳化硅微粉,收集筛上的物质得到硅块;粉碎硅块得到硅粉。 |
地址 |
518118 广东省深圳市坪山新区比亚迪路3009号 |