一种基于平面环形腔的MOEMS加速度计及其制造方法

摘要

本发明属于光学领域和微机电系统领域，具体为一种基于平面环形腔的MOEMS加速度计及其制造方法。加速度计包括：基底、悬臂梁、光栅、直波导和微环谐振腔。该加速度计的基本工作原理：首先入射光通过光栅耦合进直波导，在直波导中传输的光以倏式场的形式耦合进微环谐振腔，满足谐振条件的光在微环谐振腔内发生谐振产生与之相对应的透射峰。当系统受外力冲击时，在加速度的作用下，悬臂梁受惯性力的作用发生形变，使集成在悬臂梁上的微环谐振腔产生微小的变形，进而使微环谐振腔的有效折射率改变，导致微环谐振腔的谐振峰发生偏移，通过测量谐振点产生的偏移量，就可以对相应的加速度值进行标定。

主权项

一种基于平面环形腔的MOEMS加速度计，其特征在于包括SOI片，SOI片中的衬底硅作为基底（3），在基底（3）的一侧刻蚀有悬臂梁（4），顶层硅上刻蚀有相互耦合的直波导（1）和环形跑道状的微环谐振腔（2），其中微环谐振腔（2）位于悬臂梁（4）上，直波导（1）的入射端和出射端都还刻蚀有光栅（5）。