| 发明名称 | 照明光学设备、曝光装置和制造物品的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及照明光学设备、曝光装置和制造物品的方法。照明光学设备使用来自光源的光来照明待照明面R。照明光学设备包括：光学积分器，配置成通过使从入射端面入射的光在内表面反射多次来使光学强度分布在出射端面上是均匀的；以及光束形成单元，配置成将来自其中聚光镜以相对于光轴的第一角度会聚来自光源的光的焦点位置的光束转换成将以相对于光轴的大于第一角度θ<sub>1</sub>的第二角度θ<sub>2</sub>入射到光学积分器的入射端面上的光束，所述光轴从光源指向待照明面。其中，待照明面R是用来自光学积分器的光照明的。 | ||
| 申请公布号 | CN105446085A | 申请公布日期 | 2016.03.30 |
| 申请号 | CN201510591980.1 | 申请日期 | 2015.09.17 |
| 申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 须田广美 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 宋岩 |
| 主权项 | 一种使用来自光源的光来照明待照明面的照明光学设备，其特征在于，包括：光学积分器，配置成通过使从入射端面入射的光在内表面反射多次来使光学强度分布在出射端面上是均匀的；以及光束形成单元，配置成将来自其中聚光镜以相对于光轴的第一角度会聚来自光源的光的焦点位置的光束转换成将以相对于光轴的大于第一角度的第二角度入射到光学积分器的入射端面上的光束，所述光轴从光源指向待照明面，其中，待照明面是用来自光学积分器的光照明的。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||