发明名称 |
一种薄膜太阳能电池用导电玻璃及其制备方法 |
摘要 |
本发明特别涉及一种薄膜太阳能电池用导电玻璃及其制备方法。本发明导电玻璃是在金属氧化物导电层(2)和第二金属氧化物导电层(4)之间夹置金属层(3),金属氧化物导电层(2)、金属层(3)和第二金属氧化物导电层(4)依次设在玻璃基材(1)一侧表面上,减反射膜(6)设在玻璃基材(1)另一侧表面上。在玻璃基材上通过LPCVD、PECVD、SPUTTER或SPRAY方法制备金属氧化物导电层,以磁控溅射或热蒸发的方法制备金属层,以化学气相沉积方法制备第二金属氧化物导电层,以溶胶凝胶方法制备减反射膜。本发明透光性好,导电性强,散射度高,膜层结构稳定性好;性价比高;制备成本低。 |
申请公布号 |
CN102683436B |
申请公布日期 |
2016.03.30 |
申请号 |
CN201110054902.X |
申请日期 |
2011.03.09 |
申请人 |
常州亚玛顿股份有限公司 |
发明人 |
林金锡;林金汉;林于庭;林鹏 |
分类号 |
H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/18(2006.01)I;C03C17/245(2006.01)I;C03C17/36(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0224(2006.01)I |
代理机构 |
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 |
代理人 |
刘国伟 |
主权项 |
一种薄膜太阳能电池用导电玻璃,包括有玻璃基材(1)和透明导电膜(5),还包括有减反射膜(6),透明导电膜(5)包括有金属氧化物导电层(2)和第二金属氧化物导电层(4),其特征在于:在金属氧化物导电层(2)和第二金属氧化物导电层(4)之间夹置有金属层(3),金属氧化物导电层(2)、金属层(3)和第二金属氧化物导电层(4)依次设置在玻璃基材(1)的一侧表面上,减反射膜(6)设置在玻璃基材(1)的另一侧表面上,以化学气相沉积方法制备第二金属氧化物导电层(4),调节控制玻璃基材(1)的加热温度为300~600℃,玻璃基材(1)移动速度控制在1~2m/min,载气流量控制在10~90L/min,将第二金属氧化物导电层(4)厚度沉积为100~500nm。 |
地址 |
213021 江苏省常州市天宁区青龙东路639号 |