外表沉积SiBCN涂层的碳化硅纤维及其制备方法

摘要

本发明公开了一种外表沉积SiBCN涂层的碳化硅纤维，包括碳化硅纤维基体和在基体上沉积的SiBCN涂层，SiBCN涂层与碳化硅纤维基体通过机械咬合及化学键合方式结合，SiBCN涂层是以硼吖嗪和液态聚碳硅烷为原料通过化学气相沉积工艺制备得到；具体制备方法包括：先将碳化硅纤维基体材料超声清洗，再进行高温预处理后放入沉积炉内；置换沉积炉内的空气；在设定的真空度和温度下预热；然后导入载气和稀释气，将其带入沉积炉炉膛内；一段时间后在碳化硅纤维基体材料表面形成SiBCN涂层。本发明产品的涂层均匀、致密、高温稳定性好，具有良好的工艺性，能使碳化硅纤维的抗氧化能力大幅度提高。

主权项

一种外表沉积SiBCN涂层的碳化硅纤维，其特征在于，所述碳化硅纤维包括碳化硅纤维基体和在碳化硅纤维基体上沉积的SiBCN涂层，SiBCN涂层与碳化硅纤维基体通过机械咬合及化学键合方式结合，所述SiBCN涂层是以硼吖嗪和液态聚碳硅烷为原料通过化学气相沉积工艺制备得到。