发明名称 |
SYSTEMS AND METHODS FOR MANAGING MATERIAL STORAGE VESSELS HAVING INFORMATION STORAGE ELEMENTS |
摘要 |
물질 관리 시스템 및 방법은 정보(예컨대, 전자 정보) 저장소를 갖는 물질 저장 용기를 포함한다. 정보는 저장 장치로부터 공정 툴 제어기로 전달될 수 있으며 공정 툴 동작 파라미터를 설정하거나 또는 조정하는데에 이용될 수 있다. 물질 정보는 원격 분석에 의해 결정될 수 있고, 후에 이러한 물질을 포함하는 용기의 전자 정보 저장 장치로 전달될 수 있다. 소비자 설비내에서의 물질 저장 용기의 위치 및 이동이 물질 특유의 정보의 전송과 더불어 자동적으로 추적될 수 있다. 생산품 정보는 생산품 제조시에 이용되는 물질 특유의 정보와 연계되어 저장될 수 있다. |
申请公布号 |
KR20160033250(A) |
申请公布日期 |
2016.03.25 |
申请号 |
KR20167006720 |
申请日期 |
2007.07.10 |
申请人 |
ENTEGRIS, INC. |
发明人 |
ELFSTROM SCOTT;HANSON KATHLEEN L.;HAUMERSEN STEVEN E.;JOHNSON THOMAS D.;NOLET CLARI;SMEATON WILLIAM |
分类号 |
G06Q10/06;B65D23/14;B65D25/00;B65D47/06;B65D51/24;G06K17/00;G07C9/00 |
主分类号 |
G06Q10/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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