| 摘要 |
본 발명은 진공 열증착 장치의 열원용 히터에 관한 것으로, 진공 열증착 장치에 사용되어 열증착 장치의 증발용기 내부에 수용된 증착물을 가열함으로써 배출구 전방으로 위치하는 증발 코팅 대상체에 증착 코팅하기 위하여 상기 증발용기를 감싸도록 히터가 마련되고 상기 히터로 전류를 공급하여 전기적 에너지에 의한 고열을 발생시켜 증착물을 용융시키기 위해 증발용기의 외주측에 배치되고 축방향으로 긴 히팅부재들이 일정 간격을 두고 원주방향으로 증발히터가 배열 구성되는 열증착 장치의 열원용 히터에 있어서, 상기 히터는 카본(Carbon)체를 상기 증발용기 외측면을 감싸면서 축방향으로 소정간격을 두고 상기 증발용기 원주방향을 따라 순회하는 구조로 연속적인 연장 구조를 갖도록 절삭 가공하고, 상기 히터 하부측으로 카본으로 일체 형성되는 전극 입력단을 포함하고, 소정간격을 두고 연속적으로 연장 형성되는 상기 히터에 끼움 결합되어 상기 히터를 열증착 장치에 고정 지지하는 소켓을 포함하는 것을 특징으로 한다. |
