| 发明名称 |
有機ルテニウム化合物からなる化学蒸着用原料及び該化学蒸着用原料を用いた化学蒸着法 |
| 摘要 |
【課題】蒸気圧が高く、低温(約２５０℃以下)で成膜可能で、かつ適度な熱安定性を有する化学蒸着用原料の提供。【解決手段】Ｈ、メチル基、エチル基を置換基として有するシクロヘキサジエニル基又はその誘導体、及びメチル基又はエチル基を２ヶ置換基として有するペンタジエニル基又はその誘導体を、ルテニウムに各々配位させることにより得られる有機ルテニウム化合物からなる化学蒸着用原料。前記化合物は、蒸気圧が高く、適度な熱安定性を有し分解温度が２５０℃前後で低温での成膜性に優れている。【選択図】図１ |
| 申请公布号 |
JP5892668(B1) |
申请公布日期 |
2016.03.23 |
| 申请号 |
JP20140204505 |
申请日期 |
2014.10.03 |
| 申请人 |
田中貴金属工業株式会社 |
发明人 |
原田 了輔;重冨 利幸;鈴木 和治;鍋谷 俊一;曽根 孝之;熊倉 亜希子 |
| 分类号 |
C23C16/18;C07F15/00;C23C16/448;H01L21/28;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C16/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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