| 发明名称 |
CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING COMPOSITIONS COMPRISING N,N,N',N'-TETRAKIS-(2-HYDROXYPROPYL)-ETHYLENEDIAMINE OR METHANESULFONIC ACID |
| 摘要 |
wherein the pH of the composition is in the range of from 2 to 6. |
| 申请公布号 |
EP2997103(A2) |
申请公布日期 |
2016.03.23 |
| 申请号 |
EP20140797276 |
申请日期 |
2014.05.06 |
| 申请人 |
BASF SE |
发明人 |
LAN, YONGQING;PRZYBYLSKI, PETER;BAO, ZHENYU;PRÖLSS, JULIAN |
| 分类号 |
C09G1/02;C09G1/00;C09G1/04;C09K3/14 |
主分类号 |
C09G1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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