移动式细胞格磁控溅镀靶

摘要

本发明提供了一种移动式细胞格磁控溅镀靶。该磁控溅镀靶包含：一靶材，其贴附于一铜底板上，所述靶材连接一负电压；一驱动装置；一细胞格磁控装置，其固定于所述铜底板，包含一基板、一细胞格状磁盘、多个磁条，所述细胞格状磁盘及所述多个磁条由外而内固定于所述基板上，所述基板由所述驱动装置所驱动，而以一预定速率，作预定平面轨迹的运动，其中，所述细胞格状磁盘由相接的磁条所构成，并以相同的第一磁极面向所述靶材，所述细胞格状磁盘的空间内，每一细胞格包含一磁条，以第二磁极面向所述靶材。该磁控溅镀靶可有效解决以往磁控溅镀端部因为电子阱的不断重叠而消耗地更快的问题。

主权项

一种磁控溅镀靶，其特征在于，包含：一靶材，其贴附于一铜底板上，所述靶材连接一负电压；一驱动装置；一细胞格磁控装置，其固定于所述铜底板，包含一基板、一细胞格状磁盘、多个第二磁条，所述细胞格状磁盘及所述多个第二磁条全都固定于所述基板上，所述细胞格状磁盘由多个第一磁条彼此相接组成多个细胞格，这些细胞格的每一个至少有一个边和相邻的细胞格共享第一磁条而使得这些细胞格彼此相连，所述多个第二磁条的每一个，都是分开的，且被安置在不同的细胞格内，所述第一磁条以第一磁极面固定于所述基板上，第二磁极面面向所述靶材，所述第二磁条的第二磁极面固定于所述基板上，第一磁极面面向所述靶材面，并且所述基板由所述驱动装置所驱动，而以一预定速率，作预定平面轨迹的运动。