| 摘要 |
본 발명의 일 실시예는 반도체 다이 픽업용 콜렛에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 고온에서 사용할 수 있고, 수명이 길며, 작은 팁의 구현이 용이한 반도체 다이 픽업용 콜렛을 제공하는데 있다. 이를 위해 본 발명은 길이 방향으로 중공(中空)을 갖는 제1몸체; 상기 제1몸체의 상단에 결합된 제2몸체; 상기 제1몸체의 하단에 결합되어 길이 방향으로 이동이 가능한 제3몸체; 상기 제2몸체와 상기 제3몸체 사이에 결합되어 길이 방향으로 신축이 가능한 탄성체; 및 상기 제3몸체에 결합되어 반도체 다이를 픽업하는 팁으로 이루어진 반도체 다이 픽업용 콜렛을 개시한다. |
