富含同位素的含硼化合物及其制造和使用方法

摘要

明提供一种富含同位素的含硼化合物，该富含同位素的含硼化合物包含两个或两个以上硼原子及至少一个氟原子，其中至少一个硼原子含有所要的硼同位素，该同位素之浓度或比率大于该同位素之天然丰度浓度或比率。该化合物可具有化学式B2F4。本发明描述此类化合物的合成方法及使用此类化合物的离子植入方法，以及储存及分配容器，在该等储存及分配容器中有利地含有该富含同位素的含硼化合物，以用于后续之分配使用。

主权项

一种制程系统，包含：一制程工具；一第一硼前驱物源，经配置以将一第一硼前驱物供应至该制程工具；以及一第二硼前驱物源，经配置以将一第二硼前驱物与该第一硼前驱物一起供应至该制程工具；其中该第一硼前驱物源包含B2F4且该第二硼前驱物源包含二硼烷。