| 发明名称 |
用固态或液态起始材料为ＣＶＤ装置或ＰＶＤ装置产生蒸汽之装置 |
| 摘要 |
明系有关一种用于为CVD装置或PVD装置产生蒸汽之装置，包括至少两个沿载气流向依次布置且具有传热面之传热元件，此等传热元件分别可被加热至传热温度，以及，用于为其中一个传热元件输送气胶之输送管件(4)，以便透过使气胶粒子接触诸传热面来蒸发气胶。该等传热元件中之至少一个传热元件具有孔洞，此孔洞内插有输送管件(4)，其中，该输送管件(4)具有用于馈送气胶之第一流道(23)及用于馈送载气之第二流道(24)，其中，设有通气孔(29、30)，载气则可透过该等通气孔(29、30)由该第二流道(24)流入该第一流道(23)，且其中，具体地设置成为：该第二流道(24)在该输送管件之出口(4')区域被封闭。
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| 申请公布号 |
TW201610213 |
申请公布日期 |
2016.03.16 |
| 申请号 |
TW104121098 |
申请日期 |
2015.06.30 |
| 申请人 |
爱思强欧洲公司 |
发明人 |
朗 麦克;毕卡德 比吉特 伊姆加德;波可 安德烈亚斯 |
| 分类号 |
C23C16/448(2006.01);C23C14/22(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/448(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
赖经臣;宿希成 |
| 主权项 |
一种用于为CVD装置或PVD装置产生蒸汽之装置，包括：至少两个沿载气流向依次设于壳体(12)内且具有传热面之传热元件(1、2、3)，此等传热元件分别可被加热至传热温度；以及，用于为其中一个传热元件(2、3)输送气胶之输送管件(4、5)，以便透过使气胶粒子接触诸传热面来蒸发气胶，其中，该等传热元件(1、2、3)中之至少一个传热元件具有孔洞(6、7、8)，此孔洞内插有输送管件(4、5)，其特征在于：该等传热元件(1、2、3)可被加热至不同温度，其中，流向上第一个上游传热元件(1)系为载气之预热元件，载气可由设于该第一个传热元件上游之载气输送管道(11)送入该壳体(12)，而该等传热元件(1、2、3)系如此沿流向依次设于该壳体(12)内，使得，载气穿过所有传热元件(1、2、3)，并且，若非该输送管件(4、5)贯穿传热元件(1、2、3)之孔洞(6、7、8)且通入第一与第二传热元件(1、2；2、3)之间的间隙(9、10)，则是该输送管件(4、5)之出口(4'、5')设于传热元件(2、3)中。
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| 地址 |
德国 |
