基板清洁方法及基板清洁装置

摘要

正面具有微细图案之基板之背面进行超音波清洁时，对基板之背面直接供给施加超音波之液体之方式中，基板之背面中之喷嘴配置之自由度较低，故而难以进行整个背面之良好清洁。

主权项

一种基板清洁方法，其特征在于，其系对一主面形成有图案之基板之另一主面进行清洁者，且具备：基板保持步骤，其系使上述另一主面朝向铅垂方向下方，而将上述基板保持为水平；液膜形成步骤，其系向上述另一主面供给第1液体而形成液膜；及超音波清洁步骤，其系于上述液膜形成于上述另一主面之状态下，将对第2液体施加超音波所得之超音波施加液供给至上述一主面，并自上述一主面侧经由上述基板向上述另一主面、及形成于上述另一主面之上述第1液体之上述液膜传播超音波振动，而对上述另一主面进行超音波清洁；且上述第1液体之因对上述基板之主面上存在之液体传播超音波时该液体中产生之空蚀而作用于上述基板的单位面积之应力即空蚀强度高于上述第2液体。