| 摘要 |
실온 이하, 특히 영하의 플라즈마를 생성할 수 있음과 동시에, 저온에서 고온까지의 넓은 온도범위에서 보다 정확하게 플라즈마 온도를 제어할 수 있는 플라즈마 온도 제어장치 및 플라즈마 온도제어방법을 제공한다. 플라즈마용 가스를 플라즈마로 하는 플라즈마 발생부(40)와, 플라즈마 발생부(40)에 공급하는 플라즈마용 가스의 온도를 제어하는 플라즈마용 가스 온도 제어부(30)를 구비하고, 플라즈마용 가스의 온도를 제어하여 플라즈마 발생부(40)에서 발생하는 플라즈마의 온도를 제어한다. |
