发明名称 METHOD OF MANUFACTURING MICRO-CANTILEVER
摘要 캔틸레버 및 캔틸레버 상에 제공되는 탐침을 갖는 미소 캔틸레버의 제조방법은, 탐침을 위한 액상의 탐침용 용액이 수용되며, 탐침의 형상에 대응하는 그루브를 갖는 탐침 몰드를 제공하는 단계, 탐침의 위치에 대응하여 캔틸레버를 그루브가 형성된 탐침 몰드에 접촉시키는 단계, 캔틸레버를 탐침 몰드에 접촉시킨 상태에서 그루브 내에 수용된 탐침용 용액을 경화시켜 캔틸레버 상에 탐침을 형성시키는 단계, 및 캔틸레버를 탐침 몰드에서 분리하는 단계를 포함할 수 있다.
申请公布号 KR101601742(B1) 申请公布日期 2016.03.11
申请号 KR20140096353 申请日期 2014.07.29
申请人 서강대학교산학협력단 发明人 이정철;송정기;이일
分类号 G01Q70/16 主分类号 G01Q70/16
代理机构 代理人
主权项
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