发明名称 封装方法
摘要 一种封装方法,包括:提供载板,所述载板包括若干芯片区以及位于相邻芯片区之间的切割区,所述载板包括第一表面;在所述载板第一表面的切割区内形成若干凹槽;提供芯片,所述芯片包括相对的功能面和非功能面;将所述芯片的非功能面与载板芯片区的第一表面固定;在将芯片的非功能面与载板芯片区的第一表面固定之后,在所述芯片的功能面表面形成凸点;在所述载板第一表面和芯片表面形成塑封层,所述塑封层暴露出所述凸点的顶部表面;在形成所述塑封层之后,去除所述载板;在所述塑封层表面和凸点的顶部表面形成再布线结构;对所述塑封层和再布线结构进行切割,使若干芯片相互分立,形成独立的封装结构。所形成的封装产品的良率和可靠性提高。
申请公布号 CN105390429A 申请公布日期 2016.03.09
申请号 CN201510747322.7 申请日期 2015.11.05
申请人 南通富士通微电子股份有限公司 发明人 石磊
分类号 H01L21/683(2006.01)I;H01L21/78(2006.01)I 主分类号 H01L21/683(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 徐文欣;吴敏
主权项 一种封装方法,其特征在于,包括:提供载板,所述载板包括若干芯片区以及位于相邻芯片区之间的切割区,所述载板包括第一表面;在所述载板第一表面的切割区内形成若干凹槽;提供芯片,所述芯片包括相对的功能面和非功能面;将所述芯片的非功能面与载板芯片区的第一表面固定;在将芯片的非功能面与载板芯片区的第一表面固定之后,在所述芯片的功能面表面形成凸点;在所述载板第一表面和芯片表面形成塑封层,所述塑封层暴露出所述凸点的顶部表面;在形成所述塑封层之后,去除所述载板;在所述塑封层表面和凸点的顶部表面形成再布线结构;对所述塑封层和再布线结构进行切割,使若干芯片相互分立,形成独立的封装结构。
地址 226006 江苏省南通市崇川区崇川路288号
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