一种二维纳米尺度光子晶体力传感器

摘要

一种二维纳米尺度光子晶体力传感器，涉及力的测量领域。本发明是为了解决现有的传感器测量精度低、灵敏度差和二维力测量相互干扰的问题。它包括一号微悬臂梁传感器、二号微悬臂梁传感器、和纳米谐振腔，纳米谐振腔分别嵌在一号微悬臂梁传感器和二号微悬臂梁传感器上；所述一号微悬臂梁传感器为长方体的平板结构，二号微悬臂梁传感器位于三维直角坐标系的XOZ平面上，一号微悬臂梁传感器位于三维直角坐标系的YOZ平面上，所述一号微悬臂梁传感器垂直二号微悬臂梁传感器，所述一号微悬臂梁传感器位于二号微悬臂梁传感器两条短边的中心连线上，且一号微悬臂梁传感器一个侧面与二号微悬臂梁传感器首端侧面位于同一平面内。本发明适用于对二维力进行测量。

主权项

一种二维纳米尺度光子晶体力传感器，其特征在于，它包括一号微悬臂梁传感器(1)、二号微悬臂梁传感器(2)和纳米谐振腔(3)，所述一号微悬臂梁传感器(1)和二号微悬臂梁传感器(2)的结构相同，所述一号微悬臂梁传感器(1)为长方体的平板结构，该平板结构的正面嵌有相互平行的两条纳米谐振腔(3)，所述纳米谐振腔(3)平行于所述平板结构的短边；在所述两条纳米谐振腔(3)与所述平板结构的末端之间的背面设置有凸起的基座(12)；二号微悬臂梁传感器(2)位于三维直角坐标系的XOZ平面上，且基座位于Y轴负方向，一号微悬臂梁传感器(1)位于三维直角坐标系的YOZ平面上，且一号微悬臂梁传感器(1)的基座位于X轴负方向，所述一号微悬臂梁传感器(1)位于二号微悬臂梁传感器(2)两条短边的中心连线上，且一号微悬臂梁传感器(1)一个侧面与二号微悬臂梁传感器(2)首端侧面位于同一平面内；纳米谐振腔(3)的形状为带状；一号微悬臂梁传感器(1)上的两条纳米谐振腔(3)的长度与所述一号微悬臂梁传感器(1)的宽度相等；所述纳米谐振腔(3)为二维光子晶体。