激光加工装置及激光加工方法

摘要

本发明提供一种在三维加工中能够进一步降低表面粗糙度的激光加工装置及激光加工方法。本发明的激光加工方法如下：将加工区域设定为沿激光的照射方向堆积多层加工层的区域，将对加工层设定的虚拟四角格子的格点作为脉冲照射点来照射激光而进行加工，在多层加工层中，将以加工顺序为自第1层至第4层的连续的4个层作为1个周期，至少包含相当于1个周期的层，在第2层中将格点挪动到由第1层中相邻的4个脉冲照射点（P1）构成的四边形（Q1）的重心（G1）来作为脉冲照射点（P2)，在第3层中将格点挪动到由第1～第2层中相邻的脉冲照射点（P1、P2）构成的四边形（Q2）的重心（G2）来作为脉冲照射点（P3），在第4层中将格点挪动到由第3层中相邻的4个脉冲照射点（P3）构成的四边形（Q3）的重心（G3）来作为脉冲照射点（P4）。

主权项

一种激光加工装置，其为通过对加工对象物照射脉冲激光来进行形状形成的加工装置，其特征在于，具备：脉冲激光照射机构，以恒定的重复频率对所述加工对象物照射所述激光并进行扫描；位置调整机构，能够保持所述加工对象物来对该加工对象物与所述激光的相对位置关系进行调整；及控制部，控制这些机构，在进行所述激光的扫描时将加工区域设定为沿所述激光的照射方向堆积多层加工层的区域，通过对各加工层照射所述激光并去除每个所述加工层的预定部分来形成三维形状的加工面，该控制部通过将对所述加工层设定的虚拟四角格子的格点作为脉冲照射点而照射所述激光来进行加工，在多层所述加工层中，将以加工顺序为自第1层至第4层的连续的4个层作为1个周期，至少包含相当于1个周期的层，在所述第2层中，将所述四角格子的格点挪动到由所述第1层中相邻的4个所述脉冲照射点构成的四边形的重心来作为脉冲照射点，在所述第3层中，将所述四角格子的格点挪动到由所述第1层及所述第2层中相邻的所述脉冲照射点构成的四边形的重心来作为脉冲照射点，在所述第4层中，将所述四角格子的格点挪动到由所述第3层中相邻的4个所述脉冲照射点构成的四边形的重心来作为脉冲照射点。