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发明名称
微細パターン構造体の製造方法
摘要
申请公布号
JP5877705(B2)
申请公布日期
2016.03.08
申请号
JP20110284819
申请日期
2011.12.27
申请人
旭化成イーマテリアルズ株式会社
发明人
中田 卓人;三田村 哲理
分类号
G11B7/26;G03F7/004;G03F7/40;H01L21/027;H01L21/306;H01L21/3065
主分类号
G11B7/26
代理机构
代理人
主权项
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