FORMATION OF METAL STRUCTURES IN SOLAR CELLS

摘要

태양 전지의 금속 접점이 유전체 층 상에 형성되는 전기도금 시드를 사용하여 구리를 전기도금함으로써 형성된다(211). 전기도금 시드는 유전체 층 내의 접점 구멍을 통해 태양 전지의 확산 영역에 접속되는 알루미늄 층을 포함한다. 니켈 층이 알루미늄 층 상에 형성되고, 이때 니켈 층-알루미늄 층 스택이 전기도금 시드를 형성한다(212). 구리는 지지 전해질로서 황산 대신에 메탄술폰산을 갖는 구리 도금조 내에서 전기도금된다(213).