| 摘要 |
플라즈마 에칭 장치의 챔버에 대하여 공급되는 순환 유체를 냉각, 가열하는 순환 냉각 가열 장치(3)를 순환 유체와 냉각수 사이에서 열교환을 행하는 열교환기와, 순환 유체를 가열하는 가열수단과, 순환 유체를 챔버와의 사이에서 순환시키는 펌프(20)와, 냉각수가 유통하는 냉각수 유통 블록(29)과, 냉각 또는 가열된 순환 유체의 압력을 검출하는 압력 검출수단으로서의 압력 센서(22)를 구비하고, 압력 센서(22)를 냉각수 유통 블록(29)에 부착했다. |
