| 发明名称 |
HARDMASK COMPOSITION AND METHOD OF FORMING PATTERNS USING THE HARDMASK COMPOSITION |
| 摘要 |
아믹산 기 및 이미드 기 중 적어도 하나와 연결되어 있는 지방족 또는 방향족 고리를 포함하는 화합물, 그리고 용매를 포함하는 하드마스크 조성물 및 상기 하드마스크 조성물을 사용하는 패턴 형성 방법에 관한 것이다. |
| 申请公布号 |
KR101599958(B1) |
申请公布日期 |
2016.03.04 |
| 申请号 |
KR20120153558 |
申请日期 |
2012.12.26 |
| 申请人 |
제일모직 주식회사 |
发明人 |
김윤준;이범진;조연진 |
| 分类号 |
G03F1/68;G03F7/26;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F1/68 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
