摩擦电荷控制静电夹钳

摘要

揭示在卸除前更有效从衬底去除累积电荷的静电夹钳。目前，升降销与接地销是植入后用来从衬底去除电荷的唯一机制。本揭示描述一种静电夹钳，其在顶部介电表面中具有嵌入的导电区，例如在密封环中的环形导电区。因此，不论松开期间衬底的方向为何，衬底的至少一部分会接触在工件支撑件的介电层上的导电区。此导电区可通过使用介电层中的导电穿孔而接地。在一些实施例中，这些导电穿孔是用来将气体供应至衬底背面的流体导管。

主权项

一种处理衬底的夹钳，包括：顶层，其由非导电的材料制成；气体源；导管，其嵌入于所述夹钳中，用于将气体自所述气体源携至所述顶层，其中所述导管的侧壁是由导电材料制成；外密封环，其围绕所述顶层；外部导电环，其形成于所述外密封环上，用于接触所述衬底；以及所述外部导电环与所述导管的所述侧壁之间的第一导电材料，其中所述侧壁接地，所述第一导电材料嵌入于所述顶层中或沉积于所述顶层上。