飞散板、研磨轮及研磨装置

摘要

一种飞散板（4），所述飞散板（4）使经由供给配管被供给的供给液飞散，其特征在于，该飞散板（4）具备板状部件（41），所述板状部件（41）能够配置成，在对置于供给配管的开口端的位置处，厚度方向与供给液的供给方向（D1）大致平行，并且，以大致平行于厚度方向的旋转轴为中心旋转，在板状部件（41）上，在该板状部件（41）的旋转中心（O）以外的部位上设有在厚度方向上贯通且供给液能够通过的飞散孔（42），飞散孔（42）的位于旋转方向（D2）的后侧的壁面（421）倾斜，使得位于对置面（411）侧的旋转方向上的最后侧的壁面端部（421A）与位于非对置面（412）侧的旋转方向上的最后侧的壁面端部（421B）相比位于旋转方向（D2）的前方，前述对置面（411）对置于供给配管（3）。

主权项

一种飞散板，前述飞散板使经由供给配管被供给的供给液飞散，其特征在于，具备板状部件，前述板状部件能够配置成，在对置于前述供给配管的开口端的位置处，厚度方向与前述供给液的供给方向大致平行，并且，以大致平行于前述厚度方向的旋转轴为中心旋转，在前述板状部件上，在该板状部件的旋转中心以外的部位上，设有在厚度方向上贯通且前述供给液能够通过的飞散孔，前述飞散孔的位于旋转方向的后侧的壁面倾斜，使得位于对置面侧的前述旋转方向的最后侧的壁面端部与位于非对置面侧的前述旋转方向的最后侧的壁面端部相比位于旋转方向的前方，前述对置面对置于前述供给配管。