模具及模具镀膜方法

摘要

一种模具，具有模穴，所述模穴表面具有六甲基二硅氮烷和氧化铝复合薄膜。六甲基二硅氮烷和氧化铝复合薄膜使得模具具有抗粘及抗刮的功效。本发明还涉及一种模具镀膜方法。

主权项

一种模具镀膜方法，包括如下步骤：将模具置于真空腔中，所述模具具有模穴；加热所述模具至预定温度；向所述真空腔中交替通入三甲基铝和氧气，以在所述模穴表面形成氧化铝薄膜；对所述模具进行处理以增加所述氧化铝薄膜表面的羟基密度；加热所述模具并将所述模具置于六甲基二硅氮烷的蒸汽中，使得在所述模穴表面生成六甲基二硅氮烷和氧化铝复合纳米薄膜以对所述氧化铝薄膜的表面进行改性；所述真空腔的压力为10^‑6～10^‑8托；所述预定温度为300度；将所述模具置于去离子水中以对氧化铝薄膜进行处理以增加羟基密度；所述去离子水为纯水或乙醇；所述氧化铝薄膜的厚度为150纳米。