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发明名称 バリア膜の形成方法、及び強誘電体デバイスの製造方法
摘要
申请公布号 JP5875874(B2) 申请公布日期 2016.03.02
申请号 JP20120007177 申请日期 2012.01.17
申请人 株式会社アルバック 发明人 宮口 有典;西岡 浩;鄒 弘綱
分类号 H01L21/316;C23C14/08;C23C14/10;H01L21/8246;H01L27/105 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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