| 摘要 |
에칭 내성이 우수하고, 분산성이 좋은 조성물로 생산성이 우수한 나노임프린트용 광경화성 조성물을 제공한다. 나아가서는 비교적 낮은 압력으로 금형을 압압한 경우에도, 패턴의 전사를 용이하게 할 수 있는 광경화성 나노임프린트용 조성물을 제공한다. 광경화성 나노임프린트용 조성물은, (A) 유기 규소 화합물 및 (메트)아크릴기 함유 규소 화합물의 혼합물을, 상기 혼합물에 있어서의 전체 알콕시기의 몰수에 대하여 0.1배몰 이상 1.0배몰 미만의 양의 물로 가수분해한 부분 가수분해물, (B) (메트)아크릴기를 갖는 중합성 단량체, 및 (C) 광중합 개시제를 포함하여 이루어진다. 또한, (A)에는 불소화 실란 화합물 및/또는 금속 알콕시드의 부분 가수분해물을 포함할 수도 있다. |
