| 发明名称 | 一种微纳电极 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种微纳电极，包括绝缘衬底（1）和电极（2），电极（2）设置在绝缘衬底（1）内，电极（2）呈现螺旋状。通过改变电极的内部结构，将通常的叉指状改为螺旋状，当用于力学传感器测量时，螺旋状的微纳电极能够保持每个测量方向的灵敏度一致，提高了测量灵敏度，避免了测量误差，使用更加方便。 | ||
| 申请公布号 | CN205049158U | 申请公布日期 | 2016.02.24 |
| 申请号 | CN201520779179.5 | 申请日期 | 2015.10.10 |
| 申请人 | 苏州新锐博纳米科技有限公司 | 发明人 | 陆伟华;宋凤麒;谢波 |
| 分类号 | G01D5/12(2006.01)I | 主分类号 | G01D5/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人 | 陈建和 |
| 主权项 | 一种微纳电极，其特征在于：包括绝缘衬底(1)和电极对(2)，所述电极对(2)设置在所述绝缘衬底(1)上，所述电极对(2)为镜像对称的一对平面螺旋状金属，这一对平面螺旋状金属的螺旋交错分布。 | ||
| 地址 | 215000 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路99号D区212室 | ||