一种遮挡装置及其遮挡方法和蒸镀系统

摘要

本发明提供一种遮挡装置及其遮挡方法和蒸镀系统。该遮挡装置包括动力机构和遮挡机构，动力机构用于带动遮挡机构在蒸镀速率控制阶段和蒸镀阶段变换不同位置，遮挡机构用于在蒸镀速率控制阶段遮挡蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启；还用于在蒸镀阶段开启蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并继续保持蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启。该遮挡装置实现了蒸镀的连续性控制，不仅缩短了蒸镀时间，而且节约了蒸镀材料，从而不仅提高了产能，而且节约了成本，同时还提高了蒸镀的稳定性和良率。

主权项

一种遮挡装置，包括动力机构和遮挡机构，所述动力机构用于带动所述遮挡机构在蒸镀速率控制阶段和蒸镀阶段变换不同位置，其特征在于，所述遮挡机构用于在所述蒸镀速率控制阶段遮挡蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持所述蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启；还用于在所述蒸镀阶段开启所述蒸镀源与所述待镀基板之间的蒸镀通道，并继续保持所述蒸镀源与所述蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启。