减小激光束横截面积的方法、激光显微切割的方法和装置

摘要

本发明提供了一种减小激光束横截面积的方法，在激光发射器与被照物体之间的光路中设置空间光调制器；所述激光发射器发出的入射激光束在空间光调制器上产生主光斑和副光斑；所述主光斑覆盖到空间光调制器的N个相邻的微单元上，只打开以主光斑圆心为中心n个微单元(n＝1,2,…,N)，其它N-n个微单元为关闭状态，则出射激光束的横截面积d＝D×(n/N)，其中D为主光斑的横截面积。本发明还提供了一种激光显微切割的方法和装置。上述的一种减小激光束横截面积的方法，通过人为操作和控制，使激光束的横截面积在一定范围内缩小。上述的一种激光显微切割的方法和装置，能够实现切割线宽度小到微米甚至亚微米的激光切割。

主权项

一种减小激光束横截面积的方法，其特征在于：在激光发射器与被照物体之间的光路中设置空间光调制器；所述激光发射器发出的入射激光束在空间光调制器上产生主光斑和副光斑；所述主光斑覆盖到空间光调制器的N个相邻微单元上，只打开以主光斑圆心为中心n个微单元(n＝1,2,…,N)，其它N‑n个微单元为关闭状态，则出射激光束的横截面积d＝D*(n/N)，其中D为主光斑的横截面积。