用于干涉仪中的反射镜的运动的机构、包含该机构的干涉仪以及包含该机构的傅里叶变换光谱仪

摘要

一种允许干涉仪的镜片的精确运动的机构，其包括具有高横向刚度的两个或多个膜片挠性件，创造了卓越性能的迈克尔逊干涉仪。当与反射镜表面的精确控制和参考激光相结合时，上述机构创造了卓越性能的傅里叶变换光谱仪。

主权项

一种迈克尔逊干涉仪，其包含：固定反射镜、分束器组件和可移动反射镜，可移动反射镜被安装在两个或更多的膜片挠性件上，膜片挠性件具有高横向刚度，以允许反射镜的运动；并且其中可移动反射镜受到闭环控制。