传感器装置

摘要

本发明提出一种传感器装置，该传感器装置具有一个衬底元件和一个具有主延伸平面的传感元件，其中，该传感元件固定在衬底元件上，其中，该衬底元件具有至少一个接触元件用于传感器装置的电接触，并且，该衬底元件具有至少一个卸荷结构用于应力脱耦，其中此外，至少一个卸荷结构在一与主延伸平面平行的平面中基本上安置在所述至少一个接触元件和所述传感元件之间。

主权项

传感器装置(1)，具有一个衬底元件(2)和一个具有主延伸平面(100)的传感元件(3)，其中，传感元件(3)固定在衬底元件(2)上，其中，所述衬底元件(2)具有至少一个接触元件(4)用于传感器装置(1)的电接触，并且，衬底元件(2)具有至少一个卸荷槽(5’)用于应力脱耦，所述至少一个卸荷槽(5’)在一与主延伸平面(100)平行的平面中基本上安置在所述至少一个接触元件(4)和所述传感元件(3)之间，其特征在于，所述卸荷槽(5’)U形地构造并且围住所述衬底元件(2)的一个部分区域(15)，该部分区域能够相对于其余的衬底元件(2)振动，其中，传感元件(3)固定在该部分区域(15)上，并且，设置有至少一个减振元件(14)，该减振元件这样跨接所述卸荷槽(5’)，使得该减振元件(14)的第一端部与所述部分区域(15)连接并且该减振元件(14)的第二端部与余下的衬底元件(2)连接，其中，所述部分区域(15)的振动特性和减振特性取决于所述减振元件(14)的材料特性、几何形状和尺寸。