| 摘要 |
커패시터 구조물은 제1 전극, 제1 절연막, 제2 전극, 제2 절연막, 제3 전극, 제4 전극, 제1 플러그들, 제2 플러그들 및 제3 절연막을 포함한다. 제1 전극, 제1 절연막 및 제2 전극은 기판 상에 순서대로 구비된다. 제2 절연막은 제1 전극, 제1 절연막 및 제2 전극을 덮는다. 제3 전극은 제2 절연막 상에 구비되고, 평면 구조의 콤(comb) 형태를 갖는다. 제4 전극은 제2 절연막 상에 구비되고, 평면 구조의 콤 형태를 가지며 제3 전극과 이격되어 제3 전극 사이에 배치된다. 제1 플러그들은 제2 전극과 제3 전극을 전기적으로 연결하고, 제2 플러그들은 제1 전극과 제4 전극을 전기적으로 연결한다. 제3 절연막은 제3 전극과 제4 전극 사이에 구비된다. |
