装载埠

摘要

明提供一种不需变更现有的门开闭机构，就能够解决大径晶圆所适用之晶圆容纳用容器难以密闭之问题的装载埠。装载埠(1)，具备有：设置成可装拆在板状框架部(11)上所形成的开口部(11s)，能够保持着容器载置台(12)所载置之晶圆容纳容器(2)之容器门的门部(13)；及可使门部(13)开闭的门开闭机构(14)，于该装载埠(1)设有强制关闭机构(15)，该强制关闭机构(15)是可于门开闭机构(14)之门部(13)的关闭动作过程中，使位于开口部(11s)附近的门部(13)移动至完全关闭开口部(11s)的位置。

主权项

一种装载埠，系具备有可开闭并且可密闭之容器门的晶圆容纳用容器和半导体制造装置之间晶圆搬出入时之界面的装载埠，其特征为，具备有：以竖立姿势配置成装载埠本体部构成用之板状的框架部；从上述框架部以大致水平姿势突出设置的容器载置台；设置成可装拆于上述框架上形成的开口部，能够对载置在上述容器载置台之晶圆容纳用容器的容器门加以保持的门部；可使藉着以低于上述开口部的位置支撑的支撑构件从下方支撑的上述门部与上述容器门一起移动在「从上述开口部退缩使上述晶圆容纳用容器和上述开口部成为开放的开放位置」和「藉由关闭上述开口部使上述容器门关闭上述晶圆容纳用容器的关闭位置」之间的门开闭机构；及可于上述门开闭机构之上述门部的关闭动作过程中，以保持上述容器门的状态将位于上述开口部附近的上述门部和上述支撑构件一起从上述晶圆容纳用容器朝着离开的方向倾斜而在上述门部与上述开口部之间产生间隙，并将上述门部的上端部朝着上述开口部侧移动使其不致成为不能封闭上述开口部的状态，可使上述门部移动至完全关闭上述开口部之位置的强制关闭机构。