用于晶圆切割设备的紫外光学传输系统

摘要

本发明一种用于晶圆切割设备的紫外光学传输系统，涉及一种应用于LED晶圆切割紫外激光精密加工设备的光学传输设计方法，属于激光精密加工领域。本发明的目的在于提出一个新的紫外激光传输设计方案，减少紫外激光器衍射光束对LED芯片的辐射强度，提高LED芯片的寿命，并实现对激光器功率的方便调节和实时监控，对于整体提高晶圆切割设备的加工性能，具有重要的实际意义。

主权项

一种用于晶圆切割设备的紫外光学传输系统，其特征在于，该传输系统包括紫外激光器、λ/2波片、偏振器、接收斗、锯齿光阑、45度分光镜、激光功率计、45度反射镜、聚焦镜组和加工平台；其中，λ/2波片、偏振器和接收斗组成激光功率调节模块，用于实时调节紫外激光器输出激光的功率；锯齿光阑用于抑制径向激光衍射；45度分光镜和激光功率计组成实时功率探测模块，用于实时监控紫外激光器输出激光的功率；紫外激光器输出的激光顺序经过激光功率调节模块、锯齿光阑、实时功率探测模块，并通过45度反射镜反射，由聚焦镜组聚焦于加工平台进行加工。