| 发明名称 |
SENSOR WITH PROTECTIVE LAYER |
| 摘要 |
센서는 세라믹 재료를 포함하는 센서층; 크롬을 포함하는 접착층으로서 센서층의 액체 대향면의 하나 이상의 부분에 부착된 접착층; 및 중합체를 포함하는 절연체 필름으로서 접착층의 액체 대향면을 덮는 절연체 필름을 포함한다. 절연체 필름은 부식성 유체 및 고온의 유체로부터 센서를 보호하기 위해, 예컨대, 85℃ 내지 100℃의 온수에의 장기간 노출로부터 센서를 보호하기 위해 사용될 수 있다. |
| 申请公布号 |
KR20160018555(A) |
申请公布日期 |
2016.02.17 |
| 申请号 |
KR20157035211 |
申请日期 |
2014.06.04 |
| 申请人 |
ENTEGRIS, INC. |
发明人 |
COOKE RICHARD A.;GONNELLA GEORGE;MOON SUNG IN;EXTRAND CHARLES W.;PILLION JOHN E. |
| 分类号 |
G01L19/06;B81B7/00;B81C1/00;H01L21/768;H01L27/04 |
主分类号 |
G01L19/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
