发明名称 一种晶片烘干装置
摘要 本实用新型涉及一种晶片烘干装置。它包括工作台、一个主动齿轮和若干个从动齿轮,所述主动齿轮和从动齿轮均可转动的安装在工作台上,主动齿轮与从动齿轮啮合,若干个从动齿轮均布在主动齿轮周围;所述主动齿轮通过驱动电机驱动,主动齿轮上安装有红外线烤灯;所述从动齿轮上安装有晶片托架,所述晶片托架上设有晶片容置凹槽。本实用新型结构设计合理,使用方便,能够使晶片表面均匀受热,晶片的两面均能烘干到位且不会被烤坏。
申请公布号 CN205037695U 申请公布日期 2016.02.17
申请号 CN201520799159.4 申请日期 2015.10.16
申请人 山东百利通亚陶科技有限公司 发明人 刘树奇;吕尧池
分类号 F26B11/00(2006.01)I;F26B23/04(2006.01)I;F26B25/02(2006.01)I 主分类号 F26B11/00(2006.01)I
代理机构 济南舜源专利事务所有限公司 37205 代理人 闫晓燕
主权项 一种晶片烘干装置,其特征在于:包括工作台(1)、一个主动齿轮(2)和若干个从动齿轮(3),所述主动齿轮(2)和从动齿轮(3)均可转动的安装在工作台(1)上,主动齿轮(2)与从动齿轮(3)啮合,若干个从动齿轮(3)均布在主动齿轮(2)周围;所述主动齿轮(2)通过驱动电机(4)驱动,主动齿轮(2)上安装有红外线烤灯(5);所述从动齿轮(3)上安装有晶片托架(6),所述晶片托架(6)上设有晶片容置凹槽。
地址 250103 山东省济南市高新区开拓路2333号