氟化石墨烯在制备光电探测器件中的应用

摘要

本发明提供了氟化石墨烯的一种新用途，即利用氟化石墨烯作为光电敏感材料在制作光电探测器件及柔性光电探测器件中的应用。该器件可探测波长小于415 nm的光。本发明首次利用氟化石墨烯作为光电敏感材料制作光电探测器件，采用柔性衬底可实现柔性的光电探测器件，相比有机半导体柔性光电探测器件，具有优良高频性能和低功耗的优势。而且氟化石墨烯的电阻可达1 TΩ以上，利用氟化石墨烯制作的光电探测器具有非常低的暗电流噪声。通过化学气相沉积方法能够制备出大面积的石墨烯薄膜（对角线长度可达30英寸），这是目前其它无机宽带半导体薄膜不能达到的，因此可制作基于氟化石墨烯的超大规模光电探测阵列。

主权项

一种利用氟化石墨烯制备超大规模光电探测阵列的方法，其特征在于：其阵列对角线的尺寸为30英寸；具体制备方法为：利用化学气相沉积的方法在绝缘衬底上制备出对角线长度达30英寸的大面积的氟化石墨烯，在氟化石墨烯表面制作叉指电极，形成基于氟化石墨烯的光电探测器件。