| 摘要 |
본 발명은 하나 이상의 용매 및 하나 이상의 코팅 구성요소를 가진 코팅 재료로 기판(9)의 표면(9o)을 코팅하기 위한 장치에 관한 것으로서, 상기 장치는 압축될 수 있는 챔버(7); 기판(9)을 고정 표면(12) 위에 고정시키기 위한 고정 기구(8); 및 기판(9)을 코팅하기 위한 분사 노즐(11)을 포함하고, 상기 장치는 적어도 고정 기구(8)의 고정 표면(12) 위에 고정되는 기판(9)의 표면(9o)을 냉각시키기 위한 냉각 수단을 가지는 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명은 이에 상응하여 기판 표면을 코팅하기 위한 방법에 관한 것이다. |
