| 摘要 |
보호막 및 그 위에 형성된 전극막이 균일한 막 두께로 형성되어 있음과 함께 광 취출 효율이 높은 발광 다이오드 및 그 제조 방법이 제공된다. 그러한 발광 다이오드는, 상부에 평탄부와, 경사 측면 및 정상면을 갖는 메사형 구조부를 구비하고, 경사 측면은 웨트 에칭에 의해 형성되어 이루어지고, 보호막은 평면에서 보아 주연 영역의 내측이며 또한 광 사출 구멍의 주위에 배치하여, 화합물 반도체층의 표면의 일부를 노출시키는 통전창을 갖고, 전극막은 통전창으로부터 노출된 화합물 반도체층의 표면과 접촉함과 함께, 평탄부 상에 형성된 보호막의 일부를 덮고, 정상면 상에 광 사출 구멍을 갖도록 형성된 연속막이며, 투명막은 반사층과 화합물 반도체층 사이에 형성되고, 투명막 내이며 광 사출 구멍과 겹치는 범위 내에 관통 전극이 관통 설치되어 있다. |
