真空泵

摘要

真空泵具备：转子，其进行旋转来进行真空排气；泵分解检测电路，其检测真空泵被分解的分解状态；泵运转禁止电路，其在判定为由泵分解检测电路检测出分解状态的情况下，禁止转子的旋转驱动。

主权项

一种真空泵，具备：转子，其进行旋转来进行真空排气；泵分解检测电路，其检测上述真空泵被分解的分解状态；以及泵运转禁止电路，其在判定为由上述泵分解检测电路检测出上述分解状态的情况下，禁止上述转子的旋转驱动；泵单元，其具有上述转子，进行真空排气；以及控制单元，其进行包括上述转子的上述旋转驱动在内的上述泵单元的驱动控制，其中，上述泵单元具有上述泵分解检测电路以及保持电路，上述保持电路在由上述泵分解检测电路检测出上述分解状态的情况下，保持与分解历史记录相应的状态，上述控制单元具有上述泵运转禁止电路，在上述控制单元启动时由上述保持电路保持着上述与分解历史记录相应的状态的情况下，上述泵运转禁止电路判定为由上述泵分解检测电路检测出上述分解状态，禁止上述控制单元进行上述泵单元的上述驱动控制。