用于蒸气输送的系统和方法

摘要

本发明提供用于蒸气输送的系统和方法。蒸气输送系统包括安瓿以存储液体前体和加热器以部分汽化液体前体。第一阀与推气源和安瓿连通。第二阀将汽化的前体供给至加热的喷射歧管。阀歧管包括与加热的喷射歧管的出口流体连通的第一节点，具有与第一节点流体连通的入口和与真空流体连通的出口的第三阀，具有与第一节点流体连通的入口和与第二节点流体连通的出口的第四阀，具有与第二节点流体连通的出口的第五阀，具有与第二节点流体连通的出口的第六阀。气体分配装置与第二节点流体连通。

主权项

一种用于衬底处理系统的蒸气输送系统，其包括：安瓿，其用以储存液体前体；加热器，其用以选择性地加热所述安瓿到预定的温度，以至少部分地汽化所述液体前体；加热的喷射歧管，其包括入口和出口；第一阀，其具有与推气源流体连通的入口和与所述安瓿流体连通的出口；第二阀，其具有接收来自所述安瓿的汽化的前体的入口和与所述加热的喷射歧管的所述入口流体连通的出口；阀歧管，其包括：第一节点，其与所述加热的喷射歧管的出口流体连通；第三阀，其具有与所述第一节点流体连通的入口和与真空流体连通的出口；第四阀，其具有与所述第一节点流体连通的入口和与第二节点流体连通的出口；第五阀，其具有与所述第二节点流体连通的出口；第六阀，其具有与所述第二节点流体连通的出口；以及气体分配装置，其与所述第二节点流体连通。