| 发明名称 | 带电粒子透镜中的集成光学件和气体输送 | ||
| 摘要 | 带电粒子透镜中的集成光学件和气体输送。一种用于将光或气体或两者指引到离带电粒子束柱的下端约2mm内安置的样品的方法和装置。该带电粒子束柱组件包括定义样品保持位置的平台，并且具有每个包括一组电极的一组静电透镜。该组件包括最后静电透镜，其包括最接近于样品保持位置的最后电极。此最后电极定义至少一个内部通路，其具有接近于且指向样品保持位置的终点。 | ||
| 申请公布号 | CN105321787A | 申请公布日期 | 2016.02.10 |
| 申请号 | CN201510365464.7 | 申请日期 | 2015.06.29 |
| 申请人 | FEI 公司 | 发明人 | N.W.帕克;M.斯特劳;J.菲列维奇;A.P.J.麦克洛波特曼;M.W.乌特劳特;S.兰多尔夫;C.D.钱德勒 |
| 分类号 | H01J37/12(2006.01)I;H01J37/147(2006.01)I;H01J37/02(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 王岳;张懿 |
| 主权项 | 一种带电粒子束柱组件，包括：平台，限定样品保持位置；一组静电透镜，每个包括一组电极，并且包括最后静电透镜，其包括最接近于样品保持位置的最后电极；以及其中，所述最后电极限定至少一个内部通路，其具有接近于且指向样品保持位置的终点。 | ||
| 地址 | 美国俄勒冈州 | ||