磁控直流溅射系统内的冷却装置

摘要

本发明公开了一种磁控直流溅射系统内的冷却装置，其包括有冷却腔室，以及延伸至冷却腔室内的传输轨道；所述冷却腔室内部设置有多个喷气管道，其连通至设置在冷却腔室外部的氮气容器内；所述冷却腔室包括有进料口与出料口，冷却腔室之中，进料口的对应位置设置有辅助冷却室，辅助冷却室内部设置有夹层，夹层内部设置有冷却管道，冷却管道连通至设置在冷却腔体外部的冷却水槽；采用上述技术方案的磁控直流溅射系统内的冷却装置，其可通过辅助冷却室以及其内部的冷却水对于物料进行初步冷却，以使得物料在受氮气作用前得以预先降温处理，从而避免物料在氮气作用下急剧降温而导致其内部残留应力过多，致使物料性能受到影响。

主权项

一种磁控直流溅射系统内的冷却装置，其包括有冷却腔室，以及延伸至冷却腔室内的传输轨道；所述冷却腔室内部设置有多个喷气管道，其连通至设置在冷却腔室外部的氮气容器内；其特征在于，所述冷却腔室包括有进料口与出料口，冷却腔室之中，进料口的对应位置设置有辅助冷却室，辅助冷却室内部设置有夹层，夹层内部设置有冷却管道，冷却管道连通至设置在冷却腔体外部的冷却水槽。