刻划装置

摘要

本发明是有关于一种刻划装置，即使其基板的末端材料区域的宽度小至与夹爪的边缘握把略为相同程度，也不干扰夹爪，且能够刻划X方向的刻划预定线。一种刻划装置，具备使基板(W)由夹爪(11)抓持的状态下，将基板(W)搬送至下游的刻划单元(C)的抓持搬送单元(B)，且借由刻划单元(C)的刀轮(23)沿着在基板表面与基板搬送方向正交的X方向的刻划预定线(S1)的刻划线进行加工，其特征在于，在邻接于前述夹爪(11)的X方向的刻划线(S1)以刀轮(23)进行加工时，由前述夹爪(11)进行解除前述基板(W)的抓持，并且前述夹爪(11)以退避至不干扰前述刀轮(23)的位置的方式构成。

主权项

一种刻划装置，具备抓持搬送单元，将基板上游侧端部由夹爪抓持的状态下搬送至下游侧的刻划单元；由前述刻划单元所具备的刀轮对前述基板的表面进行在与基板搬送方向正交的方向延伸的刻划线的加工，其特征在于：在邻接于前述夹爪的刻划线以刀轮进行加工时，由前述夹爪进行解除前述基板的抓持，并且前述夹爪以退避至不干扰前述刀轮的位置的方式形成。