Anordnung zum Erzeugen eines definierten Abstands zwischen Elektrodenflächen auf integrierten Bauelementen für chemische und biochemische Sensoren

摘要

Anordnung zum Erzeugen eines definierten Abstands zwischen Elektrodenflächen (E) auf integrierten Bauelementen (BE1, BE2) für chemische und biochemische Sensoren in einer face-to-face-Konfiguration, wobei jeweils auf den integrierten Bauelementen (BE1, BE2) befindliche Flächen eine Oberflächenstrukturierung aufweisen, durch die bei der face-to-face-Anordnung ein definierter Spalt zwischen den Elektrodenflächen erreicht wird, wobei der Spalt eine Spaltbreite (D) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberflächenstrukturierung in Form von auf beiden Bauelementen (BE1, BE2) angeordneten erhöhten Pufferstrukturen (1, 2) ausgebildet ist, wobei ein Abstandspuffer (1) als Anschlag eines Bauelements (BE1, BE2) die Spaltbreite realisiert und ein Lateralpuffer (2) zum Verhindern oder Begrenzen von ebenen Freiheitsgraden und Verschiebungen der Bauelemente (BE1, BE2) zueinander in der Ebene vorgesehen ist, wobei die Pufferstrukturen (1, 2) in Form von aus Einzelschichten bestehenden Schichtstrukturen ausgebildet sind, wobei die Einzelschichten jeweils Schichtdicken von weniger als 1μm aufweisen, wobei die Gesamthöhe jeder Puffersstruktur (1, 2) sich additiv aus variablen Anzahlen von Einzelschichten zusammensetzt, sodass die Spaltbreite (D) im Nanometerbereich genau einstellbar ist.