发明名称 |
压印装置及物品制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种压印装置及物品制造方法。该压印装置包括:分配器,其被构造为将压印材料分配到所述压印区域;以及控制器,其被构造为控制压印处理,使得先于第二压印区域,在第一压印区域中形成图案,所述第一压印区域相对于所述分配器与所述基板之间的气流位于所述第二压印区域的上游。 |
申请公布号 |
CN105301894A |
申请公布日期 |
2016.02.03 |
申请号 |
CN201510312786.5 |
申请日期 |
2015.06.09 |
申请人 |
佳能株式会社 |
发明人 |
小笠原昌辉 |
分类号 |
G03F7/00(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 |
代理人 |
迟军 |
主权项 |
一种压印装置,该压印装置用于进行在基板上的压印区域中形成图案的压印处理,所述压印装置包括:分配器,其被构造为向所述压印区域分配压印材料;以及控制器,其被构造为控制所述压印处理,使得先于第二压印区域在第一压印区域中形成所述图案,所述第一压印区域相对于所述分配器与所述基板之间的气流位于所述第二压印区域的上游。 |
地址 |
日本东京都大田区下丸子3-30-2 |