一种多晶硅尾气回收吸附水路集成系统

摘要

本实用新型提供一种多晶硅尾气回收吸附水路集成系统，通过在一个吸附单元内增加换热设备和吸附柱柱体，在吸附单元中原有的吸附柱柱体后依次串联连接换热设备和吸附柱柱体，并将新增的吸附柱柱体与吸附单元中原有的循环水泵相连接，提高了吸附单元的处理能力，无需增加吸附柱柱体的体积；相对于现有的多套吸附单元分别运行的方案，本实用新型方案中各设备均串联连接，连接方式简单，一个吸附单元可以只使用一个循环水泵，节约系统的施工成本和运维成本，而且，在实践生产过程中，无需在多套吸附单元之间切换，简化工艺流程。

主权项

一种多晶硅尾气回收吸附水路集成系统，包括吸附单元，所述吸附单元包括：循环水泵、第一换热设备和第一吸附柱柱体，其特征在于，所述吸附单元还包括：第二换热设备和第二吸附柱柱体，循环水泵、第一换热设备、第一吸附柱柱体、第二换热设备和第二吸附柱柱体依次串联连接，且第二吸附柱柱体与循环水泵相连；所述第一换热设备与第二换热设备的换热种类相同。